LEISTUNGEN

RöNTGEN-COMPUTERTOMOGRAPHIE

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NANOFOCUS COMPUTERTOMOGRAPHIE

Für eine umfassende Schadensanalyse oder Bauteilanalyse ist eine vollständige, hochauflösende, dreidimensionale Abbildung des Untersuchungsgegenstandes zerstörungsfrei wünschenswert.

Das Gerät nanotom ist ein Computertomographiesystem, mit dem zerstörungsfrei eine dreidimensionale Erfassung des Volumens mit einer lateralen Auflösung < 1 µm möglich ist. Es wird insbesondere bei der Schadensanalyse elektronischer Komponenten, der Rissdetektion an Lötstellen oder bei der Geometrieanalyse von vergossenen Objekten eingesetzt.

Durch die leistungsstarke Strahlquelle lassen sich mehrere Zentimeter dicke Proben analysieren. Einfach und schnell sind 2d-Durchstrahlungsabbildungen realisierbar.

Wenn Objektmerkmale im herkömmlichen Röntgen-Durchstrahlungsbild verdeckt sind oder wenn dreidimensionale Messungen erforderlich sind, wird eine Tomographie durchgeführt.

Für die Computertomographie sind alle Proben geeignet, die in allen Richtungen senkrecht zur Rotationsachse vollständig durchstrahlt werden können, und deren Durchmesser kleiner als die effektive Detektorbreite ist. Leiterplatten können bis zu einer Größe von 10 cm x 15 cm analysiert werden.

Auf Grund des Abbildungsprinzips werden die höchsten lateralen Auflösungen aber bei kleineren Proben erreicht.

Mit Computertomographie erzeugte 3d-Darstellungen erlauben eine freie Begutachtung aller Ansichten des Objektes insbesondere verdeckter Kanten und Objekte. Es lassen sich innere Oberflächen inspizieren, beliebige virtuelle Schnitte durch den Prüfling legen, Risse und Porenverteilungen im Gefüge analysieren.

Mit Hilfe der Digitalen Volumenkorrelation (DVC) ist eine
quantitative Analyse von 3d-Verformungen im Objektinneren möglich.

TECHNISCHE DATEN

Röhrenspannung: 180 kV
Laterale Bildauflösung: < 1 µm (Detailerkennbarkeit 0,3 µm)
Probengewicht: max. 1 kg
Probenabmessungen: bis 120 mm Durchmesser
   und 100 mm Höhe
2d-Durchstrahlungsabbildungen
3d-Darstellung des rekonstruierten Volumens
Animation und Schnittdarstellung des Volumens
Analysierbare Materialien: anorganische Werkstoffe /
   organische Materialien
Computertomographiesystem
am Fraunhofer-Institut ENAS
2D-Durchstrahlungsabbildung
3D-Tomogramm
einer Lotballstruktur
3D-Tomogramm
Vias in Multilayerstruktur
In Zusammenarbeit mit dem MMCC des Fraunhofer ENAS Chemnitz