LEISTUNGEN

OPTISCHE WEG-, VERFORMUNGS- & DEHNUNGSMESSUNG

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BAUTEILVERWÖLBUNG UND
OBERFLÄCHENPROFILMESSUNG

Die Chemnitzer Werkstoffmechanik GmbH entwickelt derzeit ein System zur Messung von Verwölbungen und Oberflächenprofilen für Mikrokomponenten. In Verbindung mit geeigneter Belastungstechnik bildet dieses System die Grundlage für eine noch genauere thermomechanische Charakterisierung und Zuverlässigkeitsbewertung von Komponenten, Materialien und Aufbauten der Mikrotechnik.
3D-Verwölbung
Verwölbung
horizontaler Schnitt

TECHNISCHE DATEN

PROBENGEOMETRIE:
Out-Of-Plane: Länge max.: 50 mm;
Breite max.: 60 mm; Dicke max.: 10 mm
In-Plane: Länge max.: 60 (45) mm;

ANWENDUGSGEBIETE:
Packagedesign, Fehleranalyse, Verifikation von FE Modellen

DEFORMATIONSMODUS:
Benutzerdefinierte Temperaturprofile mit beliebiger Wiederholung

MESSMODI:
In-Plane Deformation und Strain, Out-Of-Plane Verbiegung. CTE Bestimmung

TEMPERATURBEREICH:
-65°C … 350°C

TEMPERATURSTABILITÄT:
±0,3 K bis 100°C; ±0,5 K bis 200°C; ±0,8 K bis 350°C

Heiz- und Kühlraten:
0,1 K/h … 50 K/h